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產品名稱:
微型平面反射鏡干涉儀
產品型號:
SP系列
產品廠商:
其他品牌
產品文檔:
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簡單介紹
設計與操作：
SP系列微型干涉儀為納米級精密測長儀器。采用平面鏡或具有光學特性的反射表面為靶鏡，并允許有若干分的準直角度誤差而不影響激光束的正常工作。利用光纖耦合技術將激光器與干涉系統隔離， 其微型激光傳感測頭與立體角錐棱鏡可組成緊湊的測量系統平面鏡運動產生的光學干涉信號通過光纖傳輸到光電信號處理與激光電源單元，經數據處理變為位移長度值。采用大范圍動態穩頻激光器與環境參數實時采集動
微型平面反射鏡干涉儀 的詳細介紹
| 設計與操作： |
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SP系列微型干涉儀為納米級精密測長儀器。采用平面鏡或具有光學特性的反射表面為靶鏡，并允許有若干分的準直角度誤差而不影響激光束的正常工作。利用光纖耦合技術將激光器與干涉系統隔離， 其微型激光傳感測頭與立體角錐棱鏡可組成緊湊的測量系統平面鏡運動產生的光學干涉信號通過光纖傳輸到光電信號處理與激光電源單元，經數據處理變為位移長度值。采用大范圍動態穩頻激光器與環境參數實時采集動態修正技術，使測量分辨率達 1.24nm，干涉儀本身無線性誤差。小巧的激光測量傳感頭與角錐棱鏡可以方便地與用戶的測量系統相結合，實現各種實驗與測量任務。儀器既可以通過專用的鍵盤與顯示器，也可以通過實現人機交互與測量。 |
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用 途： |
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移動平臺、顯微平臺、定位平臺、計量儀器以及機床的高精度激光干涉長度測量
單/多軸精密工作臺的位移測量
機器床身的單/多軸定位
機床或坐標測量機的校準
振動、角度測量
實現長度、角度同時測量
非接觸表面微輪廓測量
各類高精度長度測量儀器與設備的研發
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主要技術參數: |
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型號： SP Series SP120/SP2000
測定距離范圍（mm):120/2000
刻度分辨率（nm）：1.24
額定波長（nm）：632.8
激光預熱時間（min）：1/10-20
傳感器頭尺寸（H*W*D)：36*70*70
光電信號處理單元尺寸（H*W*D)150*450*400
鍵盤/顯示單元尺寸（H*W*D)48*190*138
通信模式：RS-232（串行）或IEEE-488（并行）
PC插板（可選）：ISA-bus
傳感器頭重量（g）：200
光電信號處理單元重量（g）：9500
鍵盤/顯示單元重量（g）：630
電源：100-240VAC
光纖長度（m）：3m到25m（可選
工作溫度范圍：15-30℃
測量鏡*大移動速率： 600mm/s
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主要工作特點： |
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高精度的長度測量儀器
易于調整，易于組成各種用戶測量儀器與系統
測量鏡可以采用平面鏡或其它反射性表面
如果鏡面或其它反射表面足夠大，被測物件可以偏離光軸進行運動
光纖耦合的傳感測頭，不產生熱干擾
采用防止電磁干擾的信號接收/傳送元件
采用高精度穩頻的He-Ne激光作為長度基準
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